如何掌控真空鍍膜的均勻性
作者: 來源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人氣:2707
如何掌控真空鍍膜的均勻性(xìng)
我們先(xiān)來認識下怎麽調(diào)試鍍膜機,因(yīn)為掌握調試鍍膜機是使用(yòng)鍍膜機(jī)的(de)關鍵怎麽調試鍍膜機
1、測試設(shè)備的抽真空速度(dù),在測(cè)試過程中檢查漏氣情(qíng)況與各真空泵的性能;
2、測試設備的密封性能,就是抽到極限後保壓1小時看壓降是否達標,同(tóng)時排除細小(xiǎo)的漏孔;
3、產品試作,檢驗其他的性能,比如傳動、加熱、絕緣等等;
4、如果有工藝保證的(de)話就繼續打樣並作測試。
5、所有的測試應作記錄(lù),並有記錄人簽字(zì)以及有使用部門或工程部門的人確認簽字
怎麽掌控真空鍍膜的均勻性?
由於車(chē)燈鍍(dù)膜機原理的不同分為很多種類,僅僅因為(wéi)都需要(yào)高真(zhēn)空度而擁有統一名稱。所以對於不同原理的真空鍍(dù)膜,影響均勻性的因素(sù)也不盡相同。並且均勻性這個概念本身也會(huì)隨(suí)著鍍膜尺度(dù)和薄膜成分而有著不同的意義,下麵分別說一下(xià):
均(jun1)勻性主要體現在3方麵(miàn):
1、厚度上的均勻(yún)性,也(yě)可(kě)以理解(jiě)為粗糙度,在光學薄膜的尺度上看(也就是1/10波長作為(wéi)單位,約(yuē)為(wéi)100A),真空鍍膜的均勻性已經相當(dāng)好,可以輕鬆將(jiāng)粗糙度控製在可見光波長的1/10範圍內,也就是說(shuō)對於多弧離子鍍(dù)膜機的光學特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。但是如果是指原子層尺度上(shàng)的(de)均勻度,也就是說要實現10A甚(shèn)至1A的表麵平整,是現在真空鍍膜中主要的技術含量與技術瓶(píng)頸所在。
2、化學組分上的均勻性:就(jiù)是說在薄膜(mó)中,化合物的原子組分會由於尺度過(guò)小而很容易的產生(shēng)不均勻特(tè)性,SiTiO3薄膜(mó),如果濺控濺射鍍膜機過程不科學,那麽實際表麵的組分並不是SiTiO3,而可能是(shì)其他的比(bǐ)例,鍍的膜並非是想要的膜的化學成分,這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。
3、晶格(gé)有序度的均勻性:這決定了薄膜是單(dān)晶(jīng),多晶,非晶,是真空鍍膜技術中的熱點(diǎn)問題。
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