CJ係列磁控濺射真空鍍膜機

日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:83703

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機

工作原理

CJ係列(liè)磁(cí)控(kòng)濺射真空鍍膜機的磁控(kòng)濺(jiàn)射工作原理,所謂(wèi)“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟(hōng)擊物體,從(cóng)而引起物體表麵原(yuán)子從母(mǔ)體中逸出的現象。早在1842年Grove在實驗(yàn)室中就發現了這種現象。磁控濺射(shè)靶采用靜止電磁場,磁場為曲線形(xíng),均勻電(diàn)場和對數電場則(zé)分別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電子在(zài)電(diàn)場作用下,加速飛向基片的過程中與氬原(yuán)子發生碰撞。若電子具有足夠的能量(約為(wéi)30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電(diàn)子(zǐ)飛向基(jī)片,Ar+在電場作用下(xià),加速飛向陰(yīn)極(濺射靶)並以高能(néng)量轟(hōng)擊靶表麵(miàn),使靶材發生濺射。 

應用範圍

廣(guǎng)泛(fàn)應用於家電(diàn)電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼(ké)以及儀器儀表、塑(sù)料、玻璃、陶瓷、磁磚(zhuān)等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能(néng)塗層,在鍍製超(chāo)黑膜、純(chún)金裝飾膜、導(dǎo)電膜等領域有優勢。

產品(pǐn)特(tè)點

1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍(dù)製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分(fèn)高能量的濺射原子(zǐ)產生不同程度的注入現象,在基(jī)片上形成一層(céng)濺射原子(zǐ)與基片原子(zǐ)相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特(tè)殊材料的薄膜,可以使用不同(tóng)的(de)材料同(tóng)時(shí)濺射製備混合膜、化合膜(mó),還可濺射成TiN仿(fǎng)金膜;
4)、膜層純度高,濺(jiàn)射膜層中不(bú)會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成(chéng)膜,節能省電,提(tí)高產能。

技術參數表

CJ係列磁控濺射真空(kōng)鍍膜機     
型號CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機組(zǔ)KT400擴散泵機組KT500擴散泵(bèng)機組(zǔ)KT800擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機(jī)組
鍍膜係統直流或中頻電源、鍍膜輔(fǔ)助離子專用電源
充氣係統質量流量計(jì)質量流(liú)量計質量流量(liàng)計質(zhì)量流量計(jì)質量流量計(jì)質量(liàng)流量計質量流量計
控製方(fāng)式手動或(huò)全(quán)自動手動或全自動(dòng)手動或全自動手動或全自動手動或全(quán)自(zì)動手動(dòng)或全(quán)自動手動或全自動
極限真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以上設備參數僅做參考,具體均按(àn)客戶實際工藝要求設計訂做
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