CJ係列磁控(kòng)濺射真空鍍膜機

日(rì)期:2016-01-16 13:28:37 人氣:83702

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機

工作原理

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的磁控濺射工作原理,所謂“濺射”就是用荷(hé)能粒子(通常用氣體正離子(zǐ))轟擊(jī)物體,從而引起物體表麵原子從母體中逸(yì)出的現象。早在1842年Grove在(zài)實驗室中就發現了這種現象。磁控濺射(shè)靶采用靜止(zhǐ)電磁場,磁場為曲線形,均勻電場和(hé)對數電場則分別用於平麵靶和同軸圓柱(zhù)靶。電子在電場作用下,加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電(diàn)子具(jù)有足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並(bìng)產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向陰(yīn)極(濺射靶(bǎ))並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生(shēng)濺射。 

應用範圍

廣泛應(yīng)用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩(wán)具(jù)、車燈反光罩(zhào)、手機按鍵外殼以及儀器儀(yí)表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性(xìng)鍍膜及工模具的功能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝(zhuāng)飾(shì)膜、導電膜等領域有優勢。

產品特點

1)、膜(mó)厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射原子產生不同程度的注入現象(xiàng),在基片上(shàng)形成一層濺射原子與基片原子相互溶(róng)合的(de)偽擴散層;
3)、製備特殊材料(liào)的薄膜,可以使用不同的材料(liào)同(tóng)時濺射製(zhì)備混合(hé)膜、化合膜(mó),還可濺射成TiN仿(fǎng)金膜;
4)、膜層(céng)純度高,濺射膜層中不(bú)會混入坩鍋加熱器材(cái)料的成份。
5 )、裝備低溫離(lí)子輔助源,無需加熱直接常溫冷(lěng)鍍成膜,節能省電,提高產能。

技術參數表

CJ係列(liè)磁控濺射真空鍍膜機(jī)     
型號CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空(kōng)室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機組KT400擴散泵機組KT500擴散泵機組KT800擴散(sàn)泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴(kuò)散泵機組雙KT630擴散泵機組(zǔ)雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統直流或(huò)中(zhōng)頻電源、鍍膜輔助離子專用電源
充氣係統質(zhì)量流量計質量流量計質量流量計質量流量計質量流量計質量(liàng)流量計(jì)質量流量計
控製(zhì)方式手動或(huò)全自動手動或全自動手動(dòng)或全(quán)自動手動或全自動手(shǒu)動或全自(zì)動手動或全自動手動或全自動(dòng)
極(jí)限真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以上設備(bèi)參數僅做參(cān)考,具體均按客戶實際(jì)工藝(yì)要(yào)求設計訂做
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