微信掃一掃 關注（zhù）浦草莓污视频在线看（yuán）最新動態（tài）！ 磁控濺射技術自誕生以（yǐ）來，得到（dào）了較快的（de）發展和較廣（guǎng）的應用，對其他鍍膜方法的發展產生了很大的（de）影響。通過大量的實踐，浦（pǔ）草莓污视频在线看真（zhēn）空總結（jié）出這種技（jì）術的優缺點，如下文（wén）所示。
優（yōu）點：
1.沉積速率高（gāo），襯底溫升低（dī），對薄膜損傷小；
2.對於大多數材料，隻要能（néng）製造出靶（bǎ）材，就可以實現濺射；
3.濺射得到的薄膜與基底結合良好；
4.濺射得到的（de）薄膜純度較高，密度好，均勻性（xìng）好；
5.結果表明，濺射工藝具有良好的重複性，在大（dà）麵積襯底上可獲得厚度均勻的薄膜；
6.可以準確控製塗層厚度，通過改變參數來控製薄膜的粒徑；
7.不同的金屬、合金（jīn）和氧化物可以（yǐ）混合（hé），同時濺射在基體（tǐ）上；
8.易於工（gōng）業（yè）化。
但是磁控濺射也存在一（yī）些（xiē）問題
1.該技術所使用（yòng）的環形磁（cí）場（chǎng）迫使次級電子圍繞環形磁場跳躍。因此，由環形磁場控製的區域是（shì）等離子體（tǐ）密度較高的區域。在（zài）該技術中，我們可（kě）以看到濺射氣體氬在這一區域發出強烈的淡藍色光芒，形成（chéng）光暈（yūn）。光暈（yūn）下的靶是離子（zǐ）轟擊比較嚴重的部分，它會濺出一個圓形的（de）溝槽。環形磁場是電子運動的軌道，環形輝光和溝槽（cáo）生動地表（biǎo）現了這一點。靶材的濺（jiàn）射槽一旦穿透靶材，整個靶材就會報廢，靶（bǎ）材利用率不高，一般低於40%；
2.等（děng）離子體不穩定；
3.由於基本的磁通（tōng）量均不能通過磁性靶，所以在靶麵附近不可（kě）能產生外加（jiā）磁場。