化（huà）學氣相沉積（jī）是一種製備材料的氣（qì）相生長方法，它是把一種或幾種含有構成薄膜草莓污视频在线看素的化合物、單質氣體通入放置有基材（cái）的反應室（shì），借助空間氣相化學反應在基體表麵上沉積固態薄膜的工藝技術。化學氣相（xiàng）沉積(Chemical vapor deposition，簡稱CVD)是反應物質在氣態條件下發生化學反應，生成固態物質沉積在加熱的固態基體表（biǎo）麵，進而製得固體材（cái）料的工藝技術。它（tā）本質上屬於（yú）原子範疇的氣態傳質過程。與（yǔ）之相對（duì）的是物理氣相沉積（PVD）。