真空鍍膜機主要（yào）指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包（bāo）括（kuò）真空（kōng）離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外（wài）延，PLD激光濺射沉積等很（hěn）多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。真空鍍膜機是目前製作真空條（tiáo）件應用最（zuì）為廣泛的設備，對其（qí）操作程序（xù）的（de）了解是至關重要的環節，在真空鍍膜機的具體操作過程中建議參照以下標注說明：

        一、 檢查（chá）真（zhēn）空鍍膜機（jī）各操作控製開關是否（fǒu）在"關"位置。

        二、打開總電源開關，設備送電。

        三、低壓閥拉出。開充氣閥，聽不到（dào）氣流聲後，啟動升鍾罩閥，鍾罩升起。

        四、安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在（zài）轉動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內。清理（lǐ）鍾（zhōng）罩（zhào）內各部位，保證無任何雜（zá）質汙物。

        五、落下（xià）鍾罩（zhào）。

        六、啟動（dòng）抽真空（kōng）機械泵。

        七（qī）、開複合真空計電源(複合（hé）真空計型號:Fzh-1A)。

               1）左旋（xuán）鈕"1"順時針旋轉至指向2區段的加（jiā）熱位置。

               2）低真空表（biǎo）"2"內（nèi）指針順（shùn）時針移動，當指（zhǐ）針（zhēn）移（yí）動（dòng）至110mA時，左旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置（zhì）。

        八、當低真空表"2"內（nèi）指針再次順時針移動至6.7Pa時，低壓閥推入。這時（shí）左旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量（liàng）位（wèi）置。

        九、 真空鍍膜機開通（tōng）冷卻水，啟動擴散泵，加熱40min。

        十、低壓閥拉出。重複一次（cì）⑦動作程序:左下旋（xuán）鈕"1"轉至指向2區段測量位（wèi）置。低真空表"2"內指針順時針（zhēn）移動，當（dāng）指針移動至6.7Pa時，開高壓閥(閥杆（gǎn）順時針旋轉（zhuǎn）)。

        十一、等低真空表"2"內指針右（yòu）移動至（zhì）0.1Pa時，開規管燈絲開（kāi）關。

                1）發射、零點測量鈕"9"旋轉至指向發射位置。

                2）左下旋鈕"1"旋轉至指向1區段測（cè）量位置。

        十二、 旋轉發射調節鈕"4"，使高壓真空表"5"內指（zhǐ）針指向5。

        十三（sān）、 發射、零點、測量（liàng）旋鈕"9"旋轉至指向零點位（wèi）置。

        十四、旋轉零點調節鈕"10"，讓高壓真空表"5"內指針（zhēn）指向0位置。

        十五、 發射、零點、測（cè）量旋鈕"9"旋（xuán）轉至指向測量位置（zhì）。

        十六、旋轉標準調節鈕"3"，讓高（gāo）壓真（zhēn）空表"5"內指針指向（xiàng）10。

        十七、旋（xuán）轉"倍加器"開（kāi）關鈕"8"至指向10-12，當高壓真空表"5"內指針逆時針左移超（chāo）過1時，再把"倍加器"開關旋鈕"8"旋轉至指向10-3。

        十八、當高壓真空表"5"內指針逆時針移動超過6.7Pa時（shí），開工件（jiàn）旋轉鈕開關，鍾罩內被（bèi）鍍件PVDF膜轉動。

        十九、開蒸（zhēng）發鈕（niǔ）開關。把（bǎ）電流分插塞插入蒸發電極分配孔（kǒng）內(設有1、 2、 3、 4孔，可插（chā）入任意一孔)。

        二十、 右手旋轉右側調壓器手輪（lún），慢慢旋（xuán）轉升壓（yā）。

                  1）從視鏡窗口觀（guān）察鎢螺旋加（jiā）熱子的加熱溫度顏色（sè）變化情況。

                  2）當（dāng）鎢螺旋加熱子顏色變成黃橙色，鋁絲（sī）開始（shǐ）熔化時，左手操作擋板鈕（niǔ），移開鎢螺旋上方擋板。

                  3）鋁絲全部熔化蒸發，擋（dǎng）板回原位。

                  4）右手旋（xuán）轉調壓器手輪回零位。第一次蒸鍍工作完成。

        二十一、 如果（guǒ）再想蒸鍍一次(為了增加（jiā）電極金屬層厚度):把電流分插塞撥出插入另一個電極分配孔。重複⑳操作動作（zuò）。

        二十二、 關閉規管（guǎn）燈絲（sī）開關。關閉高壓閥(逆時針轉手（shǒu）柄)。關閉工件旋轉。關閉蒸發。旋（xuán）轉（zhuǎn）機械泵鈕至指向擴散泵位置。

        二十三、 低壓閥拉出。鍾罩充氣。充氣（qì）一段時間，當沒有氣.聲時，升鍾罩。

        二十四（sì）、鎢螺旋加熱子內加鋁絲。PVDF薄膜調換另（lìng）一（yī）麵向下 (原下麵已鍍（dù）一層鋁膜麵向（xiàng）上（shàng）)。緊（jǐn）固在轉動圓盤上。

        二十五、 落鍾罩。開機械泵。

                    1） 左下旋鈕"1"旋轉至指（zhǐ）向2區（qū）段測量位置 。

                    2）當（dāng）低壓真空表"2"內指針順時針移動到6.7Pa時，低壓閥推（tuī）入。

                    3） 左下旋鈕"1"旋（xuán）轉至（zhì）指向1區（qū）段測量位置。

                    4）當低壓真空表"2"內指（zhǐ）針順時針（zhēn）移動（dòng）到（dào）6.7Pa時，開高壓閥。旋（xuán）鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置。

                    5）當（dāng）低壓真空表"2"內（nèi）指針順時針（zhēn）移動到指向0.1Pa時，開規管燈絲（sī）。

                    6）由⑰開始重複操作至⑳ 。

        二十六、 正常（cháng）生產中，如遇到突然停電時，要立即切斷高真空測量（liàng），關閉規管燈絲（sī），高壓閥、低（dī）壓閥拉出。來（lái）電後，先讓機械泵啟動工作3~5min後，再轉入正常生（shēng）產。