分析現有光學真空鍍膜機比較片機構在使用過程中存在(zài)的問題。根據現代光學真空鍍膜(mó)機的發展趨(qū)勢和實際生產中(zhōng)急需解決的問題,通過多方麵的(de)研究分析,優化(huà)設計新一代的鍍(dù)膜機比較片結構,解決影響光學薄膜質量和超多(duō)層精密光學薄膜鍍製的問(wèn)題,以提高薄膜的監控精度,實現係統的自(zì)動控(kòng)製,提高光(guāng)學真空鍍(dù)膜機生產效率,降低生產(chǎn)成本。使(shǐ)現(xiàn)代光學真空鍍膜(mó)機的結構配置及使用效果達到最佳。
從上世紀八十年(nián)代以來,全球光電(diàn)科學技術發(fā)展與進步迅猛(měng),我國研發光學真空鍍膜機設備,在引(yǐn)進消(xiāo)化吸收的基礎上,也迅速發展起來。最近二十多年,我國逐漸成為全球光學產品的加工基地,作為光學產品的關鍵工(gōng)序,也是最後一道工序-- 鍍膜,要求越來越高,真空鍍膜(mó)機性能和配置(zhì)也(yě)必然要得到加強,提高設備質量、完善設備(bèi)性能、提高生產效率等問題就顯現出(chū)來,這就涉及到此類設備的改造、設計研發,要求相關技術人員去解決。
真空鍍膜機比較片機構就是該類設備(bèi)的必不可少的關鍵部件,高端配置的設備對比較片機構要求越來(lái)越高(gāo),它對鍍製多膜層的檢測(cè)和生產效率有著重要的不可替代的作用。
現有(yǒu)真空鍍膜機比較片機構 國內低端的(de)真空鍍膜機,從發展之初(chū)到近10年左(zuǒ)右,大(dà)多還沿用的該(gāi)比較片結構,如圖1 所示。此比較片換位機構,通常由6 個獨立的直徑Φ22mm 的比較片組成。該機(jī)構(gòu)主要由1 個托盤16、三(sān)個(gè)支撐(chēng)杆(gǎn)110 及1 個比較片(piàn)盤18 組成,三個支撐杆(gǎn)110 對托盤16起固定、支撐的作用,比較片盤18 靠齒輪(lún)齧合把運(yùn)動輸入使之旋轉撥片,三者配合就完成撥片換位動作。由於一般的鍍膜機真空室直徑(jìng)尺寸都不大,整(zhěng)個機構的直徑(Φ124mm)相比較就有些偏大,導致工件盤上可裝載(zǎi)的鍍(dù)製(zhì)工件(jiàn)麵積比較小,並且該機構隻可放置6 個比較片13,直接影響生產效率。
該結構的特點是:結構簡單,加(jiā)工製造方便,安裝實施方便易行。缺點(diǎn):該結構直徑麵積比較大,影響裝(zhuāng)載(zǎi)工件的數量;比價片放置數量少,降低了生產效率;強度和剛度有限,又由於(yú)該結構完全暴露在真空室(shì)內,真空室內高(gāo)溫濺射磨料的影響,使轉動平穩性、靈活性一般,傳動位置重複的一致性誤差較大,清洗維(wéi)護頻繁。
根據現有比較片結構在(zài)使用過(guò)程中暴露出的問題,對原有通用鍍膜機比較片結構進行(háng)多次的(de)改進(jìn),通過設計可重疊放置比較(jiào)片存儲筒,使比較片機(jī)構(gòu)直(zhí)徑所占麵積減小,但放(fàng)置的比較片(piàn)數(shù)量增加到20 片(piàn)左右, 整個機構直徑縮小為Φ89mm。結果可增加較小工件鍍膜(mó)盤上裝載工件(jiàn)的數量,提高生(shēng)產效率,還可以提高薄膜監控的精(jīng)度,並降低對(duì)硬(yìng)件係統的要求,容易實現(xiàn)對係統的自動控製(zhì)。
具體動作實施,改進後多片(piàn)比(bǐ)較片機構的轉動,通(tōng)過連接板23 和連接塊21 固定在真空室頂板上,比較片機構的旋轉運(yùn)動,由旋轉密封軸把(bǎ)運動輸入真空室內(nèi)的(de)大齒輪,帶動小齒輪所在傳(chuán)動軸24 的轉動,最終實現整(zhěng)個比(bǐ)較片機構的轉動。比較片切換比較片時,通過撥(bō)盤29 轉動一(yī)個工位,比較片存儲筒219 內落下一個比較片,到達預設的位置,同時,切換的比(bǐ)較片隨著工位(wèi)轉動落在(zài)比較片接受筒212 內,每切換一次,撥動一個工位。其中,傳動軸(zhóu)24、大齒(chǐ)輪(lún)、小齒輪和軸承座組成的傳動機構來完成撥盤轉動。
其特點(diǎn)是:(1)減小比較片機構直徑的麵積,提(tí)高裝載(zǎi)鍍製工件的數量;(2) 增加比較片的數量,提高生產效(xiào)率,提高薄膜監控的精度,降低對硬件係統的要求,係(xì)統容易實現自動控製。缺點:該(gāi)比較片結構直徑小而長(Φ89×370),影(yǐng)響其使用的強度和剛度;由於該結構暴露在高溫濺射磨料的(de)真空室內,影(yǐng)響其轉動平穩性(xìng)、靈活性,且轉動位置重複的一致(zhì)性較差,維護清洗頻繁費工。
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