隨著科技的發展，真空鍍膜工藝技術已經在：太陽能（néng）集熱管、太陽能電池、磁帶、光盤、半導體器件、光學器件、光電顯（xiǎn）示器件、玻璃、工模具和切削刀具的超硬塗層、汽輪機葉片的抗熱塗層、五金製品（pǐn）、手表、手機和眼鏡的裝飾、塑料製品金（jīn）屬（shǔ）化、包裝用塑料薄膜等多個領域廣泛應用。

真空鍍膜設備有多種規格的單室機和多室連續機。工藝（yì）方法上可分為：真空蒸（zhēng）鍍、離子鍍、濺射鍍、束流（liú）沉積鍍以及分子束外延等。真空鍍膜設備的運行性能直接（jiē）影響生產工藝、產品質量（liàng）和生產，為了使設備的（de）運行性能正常，必須建立和完善設備的（de）；維（wéi）護（hù）與（yǔ）維修製（zhì）度、維護內（nèi）容、維修標準（zhǔn）等。

一、維護與維修製度（dù），為了使真空鍍膜（mó）設備在維護、維修及生產過程中出現問題能得到（dào）及時收集（jí）、傳遞、分析和處理. 而（ér）製定的管理製度。

1.有完善的製度,如設備的使用操作規程。維修人員在維修時應掛放“正在維（wéi）修”牌（pái），並切斷電源以防他人（rén）使用機器（qì）設備等.

2.在工廠（chǎng）生產管（guǎn）理中,設備的維護與維修是重要的一（yī）方麵。應該有專職（zhí）的、能力強的維修（xiū）人員負責。

二、設備的維護，維護可分為（wéi）：日常維護（hù）和定期維（wéi）護。

1.日常維護就是在當天（tiān）生產中發現設備有（yǒu）不良跡象，就馬上解決。發現機（jī）械泵的油少了（le）就要添加，不要認為這油是定期更（gèng）換的，等（děng）到了時間在維護（hù），可能泵的轉子就會磨損嚴重了。再比如工件轉架的軸承有些卡，就要（yào）更換軸承，而等到它徹底的壞了再換，問題可就大了（le），可能引起轉架電機燒毀等。

2.定期維護，有人會問有了日常維護還有（yǒu）必要定期維護嗎（ma）？其實每一種設備都有自己使用壽命，比如擴散泵用的（de）矽油使用壽命為2年左右，我就規定1年半就把它換掉，這樣做是不是浪費，我覺（jiào）的（de）不浪（làng）費，從設備服務於生產來說是值得的，老板最不希望看到的是機器在生產階段出（chū）現問題。隻要你把日常維護和定期維護做好了（le），在延長設備壽命的同時，生產過程中（zhōng）出現故障的幾率也大大降低，生產效率（lǜ）也提高了。

三、設備維修：說到維修很（hěn）多人（rén）都（dōu）頭疼的是真（zhēn）空部分的漏氣，真（zhēn）空部分出了（le）問題比較麻煩，再加上很多（duō）公（gōng）司（sī）沒有檢（jiǎn）漏儀，這就要分階段來找。真空抽不上去（qù）原因可能有以下幾點：

1.也許（xǔ）是漏率偏（piān）高就是我們常說的有漏氣；

2.也許是真空機組的抽氣能（néng）力不夠了，油被汙染或氧化了；

3.也許是真空室內太髒放氣。

或者是這幾種可能都有。出現問題，首（shǒu）先是要判斷（duàn），是不是拆裝過東西？會不會漏水？閥門打開了嗎？根據現象（xiàng）判斷原因，然後再去根據判斷找問題（tí），可能會收到事半功倍的效果（guǒ）。有次我們清洗弧蒸發源（yuán），清洗完裝上一試抽真空比以前慢了，就懷疑是弧蒸發源漏氣，後（hòu）來經過檢查是弧蒸發源的一（yī）個密封圈（quān）本來是要更換的（de），在裝配時認為還可以就沒有更換，結果就造成了漏氣。