1、真空鍍膜設備每完（wán）成200個鍍膜程序以上，應清潔（jié）工作室一次。方法是:用燒堿(NaOH)飽和（hé）溶液反複擦洗真空室內壁，( 注意人體皮膚（fū）不可以（yǐ）直接接觸燒堿溶液，以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發生反應，反應後膜層脫落，並（bìng）釋放出氫氣。再用清水清洗真空（kōng）室和用布沾汽油（yóu）清洗精抽閥內的汙垢。
2、當粗抽泵(滑閥泵，旋片（piàn）泵)連續工作一個月(雨季減（jiǎn）半)，需更換新油。方法是:擰開放油（yóu）螺栓，放掉舊油（yóu），再將泵啟動數秒（miǎo），使泵內的舊（jiù）油完全排放出來。擰回放油螺栓，加入（rù）新油至額定量(油（yóu）視鏡觀察)。連續（xù）使（shǐ）用半年以上，換油時（shí）應將油蓋打開，用（yòng）布擦幹淨箱內汙垢（gòu）。
3、擴散泵連續使用6個月以上，抽速明顯變（biàn）慢，或操作失當，充入大氣，拆去聯結水管，卸下電爐盤，將一級噴（pēn）嘴擰出，先用汽油將泵腔（qiāng）及泵膽清洗一遍，再用洗衣（yī）粉兌水清洗一遍，然（rán）後用清水徹底清洗幹淨，待水（shuǐ）份揮發（fā）幹以（yǐ）後，裝好泵膽，加入新擴散泵油，並裝回機體，接好水管，裝好電爐盤（pán），便可以重新開機。在重新開機前，要注意檢（jiǎn）漏工作。方法是:啟動維持泵，關好大門，數分鍾（zhōng）後，觀察擴散（sàn）泵部分真（zhēn）空度是否達到6X10帕，否則要進行檢漏。檢查聯接處是否裝密封膠（jiāo）圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患後（hòu）方可（kě）加熱，否則擴散泵油會燒環，無法進入工作狀態。

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