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真空鍍膜機的各部分組成及其工(gōng)作(zuò)原理(lǐ)

作者(zhě): 來源: 日期:2018-01-18 13:27:24 人氣(qì):7354
真空鍍膜機是目前製作真空(kōng)條件應用最為廣泛(fàn)的真空設備,一般用真空室、真空機組、電氣控製櫃三大部分組成,排氣係統采用擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold組成。
下麵,詳細介(jiè)紹真空鍍(dù)膜機(jī)的各部分組成及(jí)其工(gōng)作原理:
1、真空主體:真空腔根據加工產品要求的(de)各(gè)異,真空腔的大小也不一樣,目前應用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔(qiāng)體由不鏽鋼材(cái)料製(zhì)作,要求不生鏽、堅實等,真空腔各部分有連接閥,用(yòng)來連接各(gè)抽氣泵浦。  
2、輔助抽氣係統:排氣係統為鍍膜(mó)機真空(kōng)係統的重要部分,主要有由機(jī)械泵、增壓泵(主要介紹羅(luó)茨泵)、油擴散泵三大部(bù)分組成。此(cǐ)排氣係統采用(yòng)"擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫(wēn)冷阱+polycold"組成。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小於2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵後繼抽(chōu)真空提供前提,之後當擴(kuò)散泵(bèng)抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成(chéng)串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。 
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