物理蒸鍍就是把物質加熱（rè）揮發，然後將（jiāng）其蒸氣沉積在預（yù）定的基材上（shàng）。由於蒸發（fā）源須（xū）加熱揮發，又是在真空中進行，故亦稱為熱蒸鍍或真空蒸鍍。

其可分（fèn）為三個步驟: 

(1)凝態的物質被加熱揮（huī）發成汽相  
(2)蒸汽在（zài）具空中移動一段距離至（zhì）基材 
(3)蒸汽在基材上冷卻凝結成薄膜