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鍍膜工藝設計(jì)

作者: 來源: 日期:2020-11-23 11:28:29 人氣:12477

鍍膜工藝之(zhī)設計應著重考慮不同薄膜材料之間需要不同的沉積工藝,

不同濺射(shè)技術的實施(直流、中(zhōng)頻、射頻、脈衝、反應濺射,以及它們之(zhī)間的結合而發展的技術,或者新技術的應用等),

同種技術不同工藝參數的調整(功(gōng)率,氣壓,沉積方式等),前處理(清洗、預熱等),後處理(熱處理等)。

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