真(zhēn)空鍍膜機的原理和各部件分析
作者: 來(lái)源: 日期:2022-08-17 15:00:52 人氣(qì):1832
真空(kōng)鍍膜機的原理和各部件分析
真空鍍(dù)膜機是目前製作真空條件應用最為(wéi)廣泛的真空設備,一般用真空室、真空機組、電氣控製櫃三大部分組(zǔ)成,排氣係統采用“擴散(sàn)泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組(zǔ)成。本公司專業從事真(zhēn)空鍍膜設備(bèi)的研發(fā)與生產(chǎn)擁有經驗豐富的技(jì)術團(tuán)隊及優質的售後服務隊伍為您解決設備在使用過程中遇到的(de)任何問題。下麵,詳細介紹真空鍍膜機的各部分組成及(jí)其(qí)工作原理。
一、真空主體——真空腔根據(jù)加工產品要求的各異,真空腔的大小也不一樣(yàng),目前應用多(duō)的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不鏽鋼材料製作,要求不生鏽、堅實等,真空腔各部分有連接閥,用(yòng)來連接各抽(chōu)氣泵浦。
二、輔助抽氣係統 :排氣係統為鍍膜機真(zhēn)空(kōng)係統的重要部分(fèn),主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣係統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小於2.0*10-2PA左右的(de)低真空狀(zhuàng)態,為擴散泵後繼(jì)抽真空提供前提,之後當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的(de)方式完成抽氣動作。
機械(xiè)泵:也叫前級泵,機械泵是應用廣泛的一種(zhǒng)低真空泵,它是用油來保持密封效果並依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積,使被(bèi)抽容器內氣體的體積不斷膨脹(zhàng)從而獲得真空。
1.機(jī)械泵的分類:機械泵有很多種,常用的有滑閥式(此主要應用於大型(xíng)設備)、活(huó)塞往複式(shì)、定片式和旋片式(此目前應用最廣泛(fàn),本文主要介紹)四種類型。
2.機械泵是從大氣開始工作的,它的主要參數有極限真空,抽氣速率,此為(wéi)設計與選用機械泵的重要依據。單級(jí)泵可以將容器從大氣(qì)抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級機械泵可(kě)以將容器從大氣抽到(dào)6.7*10-2帕,甚至更高。抽氣速率,是(shì)指旋(xuán)片泵按額定轉數運轉時,單位時間內(nèi)所能排出(chū)氣體的體積,可以用下公式計算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示(shì)吸氣結束時空腔截麵積,L表示空腔長(zhǎng)度,係(xì)數表示轉子每旋轉一周有兩次排氣過程,Vs表示當轉子處於(yú)水平位置的時候,吸氣(qì)結束,此時空腔內的體積大(dà),轉速為n。機(jī)械泵(bèng)排氣的效果還與(yǔ)電機的(de)轉(zhuǎn)速及(jí)皮帶的鬆緊度有關係,當電機的皮帶比較鬆,電機轉速很慢的時候,機械泵的排(pái)氣效果也會變差,所以要經常保(bǎo)養,點檢,機械泵油的密封效果也需要常常點檢,油過少,達不(bú)到密封效果,泵內會漏氣,油過多,把吸氣孔堵塞(sāi),無法吸氣和排氣,一般(bān),在油位(wèi)在線下0.5厘米即可。
3.機械泵(bèng)常常(cháng)被(bèi)用來抽除幹燥的空氣,但不能抽除含氧(yǎng)量過高、有爆炸性和腐蝕性的氣體,機械泵一般(bān)被用來抽除永久性(xìng)的氣體,但是(shì)對水氣沒有好的效(xiào)果,所以它不能抽除水氣。旋片泵中起主要作用的部件是定子、轉子、彈片等,轉子在定子裏麵但與定子不同心軸,象兩個(gè)內切圓,轉子槽內裝有(yǒu)兩(liǎng)片彈片,兩彈(dàn)片中(zhōng)間裝(zhuāng)有彈簧,保證(zhèng)了彈片緊緊貼在定子的內壁。