SF係列電子(zǐ)束蒸發光學真空鍍膜(mó)機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:25181
SF係列電子束蒸發光學真空(kōng)鍍膜機

工作原理

電子束蒸(zhēng)發是將膜材放入水冷(lěng)銅坩堝中,直接(jiē)利用電子束(shù)加熱(rè),使(shǐ)膜材中的原子或分子從表麵汽化逸出後入射到基片表麵凝結成膜。電子束蒸發比一般電阻(zǔ)加(jiā)熱蒸發熱效率高、束流密度大、蒸發速度(dù)快,製成的薄膜純度高。

應用範圍

光學鍍膜設備可鍍製層數較多(duō)的短波通、長波通、增透膜、反射膜、濾光膜、分(fèn)光膜、帶通膜、介質(zhì)膜、高反膜、彩色反射膜等各種(zhǒng)膜係,能夠實現0-50層膜的膜係鍍膜,也(yě)能(néng)滿足如汽車(chē)反光玻(bō)璃、、眼鏡片、光學鏡頭、冷光杯等產品的鍍膜要求。配置不同的蒸發源、電子(zǐ)槍和離子源及膜厚儀可鍍多種膜係,對金屬(shǔ)、氧化物、化合物(wù)及其他(tā)高熔點膜材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配(pèi)備有石英晶體膜厚儀,采用PLC與觸摸屏係統聯合實現對整個(gè)工作過(guò)程(chéng)的自動控製,工作效率和產(chǎn)品質量重複性一致性優良.
2)適用於光學領域行業,大規模工業生產(chǎn)要求的(de)廠商使(shǐ)用。

技術(shù)參數表

SF係列電子(zǐ)束蒸發光學真空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機(jī)組(zǔ)KT500擴散泵機組KT630擴散泵機(jī)組雙KT630擴散泵機組雙(shuāng)KT630擴散泵機組KT500擴散泵機組(zǔ)KT630擴散(sàn)泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子源
充氣係統壓強控製儀
控製方式手(shǒu)動或半自動
膜厚監控係統石英晶體膜厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備參數僅(jǐn)做(zuò)參考,具(jù)體均按客戶實際工藝要求(qiú)設計訂做
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