SF係列電子束蒸發(fā)光(guāng)學真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:25180
SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機

工作原理

電子束蒸發是將膜材放入水冷銅坩堝(guō)中,直接利用電子束加熱,使膜材(cái)中的原子或分子從表麵汽化逸出後入射到基片表麵凝(níng)結成膜。電子束蒸(zhēng)發比一般電阻加熱蒸(zhēng)發熱效率高(gāo)、束流密度(dù)大、蒸發速度快(kuài),製成的薄膜純度高。

應用範圍

光學鍍膜設備可鍍製層數較多的(de)短波通(tōng)、長波通、增透膜、反射(shè)膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜係,能夠實現(xiàn)0-50層膜的膜係鍍膜,也能滿足如汽車反光玻璃、、眼鏡片、光學鏡頭、冷光杯等(děng)產品的鍍(dù)膜要求。配置不同的蒸發源(yuán)、電子(zǐ)槍(qiāng)和離子源及膜厚(hòu)儀可鍍多種膜係,對(duì)金屬(shǔ)、氧化物、化合物及其他高熔點膜材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備(bèi)有石英晶體膜厚儀,采用PLC與觸摸屏係統聯合實現對整個工作過程的自動控製,工作效率和產品質量重複性一致性優良.
2)適(shì)用於光學領域(yù)行業,大規模工業生產要求的廠商使用。

技(jì)術參數(shù)表

SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機    
型號(hào)SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵機(jī)組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統電子槍蒸發源、鍍膜輔助離(lí)子(zǐ)專用電源或霍爾離子源
充氣係統壓強控製儀
控製方式手動或半自動
膜厚監控係統石(shí)英晶體膜厚監(jiān)控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工(gōng)藝要(yào)求設計訂做
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