電阻真空計(又叫皮喇(lǎ)尼(ní)真空計):
它主要由電熱絲、外殼和支架構成,主要是根據在低壓下,氣體的熱傳導係數與壓強成正比的方式工作的。上麵開口處(chù)與(yǔ)被測真空係統(tǒng)相連接,熱絲采用電阻溫度係數大的(de)金屬絲做(zuò)成,兩支支架引線與測量線路連接。當壓強降低(dī)的(de)時候,由於氣體熱傳導散失的(de)熱量減小,因此(cǐ)當熱絲加熱電流穩定時候,則熱絲溫度就上(shàng)升,熱絲的電阻就增大,用測量熱絲電阻值的(de)大(dà)小來(lái)間接測量壓強。
磁控放電真空計: 工(gōng)作原理:在放電開始時,由於空間遊(yóu)離電子向陽(yáng)極運動時,在正交電(diàn)磁場作用下,電子的軌跡不是直線而是螺旋(xuán)線前進,又因為陽極是框形,故電子不一定第一次就碰上陽極,而(ér)是穿過陽極,然後受到(dào)對麵(miàn)陰極的拒斥,又複返回。這樣反複多次才可能打上(shàng)陽極。由於電子路程(chéng)大大加長(zhǎng),故碰撞及電離的分子數增(zēng)加,使得在較低壓(yā)強(qiáng)(10-4帕以下)仍維持放(fàng)電(也稱潘寧放電)。
目前比較多的型號有PKR251、GI-PARY
放電(diàn)管真空(kōng)計:
在(zài)玻璃管中封入兩(liǎng)個金屬電極,在其上加上數(shù)千伏的直流高電壓,在(zài)一定的(de)壓強範圍內(1*10-3~2*10托)內就(jiù)能引起(qǐ)自持放電,通過(guò)放電顏(yán)色來判定其真空度 。 目前為止此種真空計已經很少使用,因為其誤(wù)差大,容易(yì)損壞,而且壽命(mìng)不長。
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