真空蒸發鍍膜是指在真(zhēn)空(kōng)條件下(xià),通(tōng)過蒸發(fā)源加熱蒸發某種物質使(shǐ)其沉積在基板(bǎn)材料表(biǎo)麵來獲得薄膜的一種技術。
被蒸發的物質被稱為蒸鍍材料。蒸發鍍(dù)膜最早由 M.法拉第在 1857年提(tí)出,經(jīng)過一百多年的發展,現已成為主流鍍膜技術之一。
真空蒸發鍍膜係(xì)統一般由三個部分組成:真空室、蒸發源或蒸發加熱裝置、放置基板及給基板加熱裝置(zhì)。
在真(zhēn)空中為了蒸發待沉(chén)積的材料,需要容器來支撐或盛裝蒸發(fā)物,同時需要提供蒸發(fā)熱使蒸發物達到足夠高的溫度以(yǐ)產生所需的蒸汽壓。
真空蒸發鍍膜技術具有簡單便(biàn)利、操作方便、成膜(mó)速(sù)度快等特點,是應用廣泛的鍍膜技術,主要應用於(yú)光學草莓污视频在线看器件、LED、平(píng)板顯示和(hé)半導體分立器的鍍膜。
真(zhēn)空鍍膜材料按照化學成分主要可以分(fèn)為金屬/非金屬顆粒蒸發料,氧化物蒸發料,氟化物蒸發料等。